正確維護可延長真空泵壽命，避免故障導致生產中斷，核心維護措施如下： 油式真空泵（如旋片泵、滑閥泵）： 定期檢查泵油液位（需在油標刻度范圍內），油色變渾濁、發黑時需及時更換（通常每 300~500 小時更換 1 次，惡劣環境下縮短周期）； 嚴禁混用不同型號的泵油，避免油質劣化影響密封與潤滑； 長期停用前，需空載運行 10~15 分鐘，排出泵內殘留氣體，再關閉進氣口和電源。 無油真空泵（如渦旋泵、干式螺桿泵）： 定期清潔進氣口過濾器（每 100~200 小時清理 1 次，避免堵塞影響抽速）； 檢查密封件（如 O 型圈）是否老化，若出現漏氣需及時更換； 避免抽入大量粉塵或液態物質，防止內部部件磨損或卡死。 高真空設備（如分子泵、離子泵）： 分子泵啟動前需確認前級泵已達到規定真空度（通常 < 1Pa），避免高速旋轉的葉片因氣體過多導致過熱損壞； 離子泵需定期檢查真空度是否穩定，若真空度突然下降，可能是電極吸附飽和，需進行 “再生處理”（按設備說明書操作）； 避免頻繁啟停，每次啟停間隔至少 30 分鐘，保護電機與軸承。 通用維護： 每日開機前檢查電源、接線是否正常，有無松動； 運行中觀察噪音、振動、溫度（機身溫度通常不超過 80℃，若過熱需停機檢查）； 長期停用（超過 1 個月）時，需覆蓋防塵罩，定期空載運行 1 次（10~15 分鐘），防止部件生銹。